2025年度北京市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)候選項(xiàng)目公示

按照北京市獎(jiǎng)勵(lì)辦2025年度提名工作的通知要求，我單位作為“硅基諧振式壓力傳感器關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及應(yīng)用”項(xiàng)目第4完成單位，現(xiàn)對(duì)候選項(xiàng)目進(jìn)行公示（詳情參見(jiàn)附件）。公示期為2025年6月20日至2025年6月26日（不少于7個(gè)自然日），公示期內(nèi)對(duì)公示內(nèi)容如有異議，須采取書(shū)面形式，寫(xiě)明提出異議的事實(shí)依據(jù)、個(gè)人真實(shí)姓名、工作單位和聯(lián)系方式向科技處反映。

聯(lián)系人及聯(lián)系電話：商艷龍 13488684627

地址：山東省濟(jì)南市歷城區(qū)港溝街道港興三路未來(lái)創(chuàng)業(yè)廣場(chǎng)3號(hào)樓16層

附件：候選項(xiàng)目公示內(nèi)容

                                     2025年6月20日

附件. 2025年度北京市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)提名公示內(nèi)容

一、項(xiàng)目名稱

硅基諧振式壓力傳感器關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及應(yīng)用

二、候選單位(含排序)

1、中國(guó)科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院；2、太原航空儀表有限公司；3、航天新氣象科技有限公司；4、山東中科思爾科技有限公司；5、中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司沈陽(yáng)飛機(jī)設(shè)計(jì)研究所；6、江西洪都航空工業(yè)集團(tuán)有限責(zé)任公司；7、北京自動(dòng)化控制設(shè)備研究所。

三、候選人(含排序)

1、王軍波；2、陳德勇；3、趙稔；4、孫立新；5、謝波；6、魯毓嵐；7、姚敏強(qiáng)；8、商艷龍；9、李拉兔；10、王禹；11、秦波；12、柏楠；13、張中飛；14、陳健；15、張旭。

四、項(xiàng)目簡(jiǎn)介

硅基諧振式壓力傳感器是壓力傳感器中的頂級(jí)產(chǎn)品，在航空航天、氣象、工業(yè)測(cè)控等領(lǐng)域有重要應(yīng)用。國(guó)際上僅有少數(shù)國(guó)家掌握此技術(shù)，前期我國(guó)全部依賴進(jìn)口，存在巨大隱患。項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)歷經(jīng)20余年持續(xù)研發(fā)，突破了高精度硅基諧振式壓力傳感器關(guān)鍵技術(shù)，研制出系列化壓力傳感器，形成了航空航天大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)、自動(dòng)氣象站等衍生產(chǎn)品，在航空、航天、氣象、測(cè)控等領(lǐng)域推廣應(yīng)用，取得了顯著的經(jīng)濟(jì)社會(huì)效益。項(xiàng)目原創(chuàng)性提出了雙諧振器溫度/壓力協(xié)同敏感新機(jī)理，發(fā)明了基于雙諧振器頻率解耦的原位溫度自補(bǔ)償新方法，實(shí)現(xiàn)了溫度和壓力的原位同時(shí)測(cè)量并解決了溫漂難題；開(kāi)發(fā)了基于SOI-MEMS的硅基諧振式壓力傳感器芯片成套制造工藝，發(fā)明了遠(yuǎn)端隔離的傳感器芯片低應(yīng)力組裝新方法，實(shí)現(xiàn)了高精度壓力傳感器的批量化制造；發(fā)明了基于脈寬調(diào)制的寬溫區(qū)自動(dòng)增益閉環(huán)控制方法和基于自適應(yīng)周期的雙頻快速測(cè)頻方法，解決了傳感器寬溫區(qū)穩(wěn)幅閉環(huán)和諧振器非線性振動(dòng)之間的矛盾。經(jīng)鑒定認(rèn)為“寬溫區(qū)傳感器精度、溫度跟隨性整體指標(biāo)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平”。項(xiàng)目形成RPS25XX、RPS30XX、RPS50XX、RPS56XX、DPS25XX等系列化傳感器產(chǎn)品，衍生出系列大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)、自動(dòng)氣象站等新產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)了新一代飛機(jī)、航天高速飛行器、自動(dòng)氣象站、科考氣象站、光刻機(jī)、壓力控制器等多場(chǎng)景應(yīng)用，解決了高端裝備的核心器件“卡脖子”問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了技術(shù)跨越和產(chǎn)品升級(jí)。

五、主要支撐材料目錄